ターボポンプの動作原理は、移動する固体表面と衝突することにより、ガス分子を特定の方向に移動させることです。 急速に回転するファンローターがガス分子に衝突し、ポンプの入口から出口に吹き付けて、真空状態を形成および維持します。 以下は、ターボポンプの動作原理を理解するためのものです。
ほとんどのターボポンプは多段ポンプを使用しています。 各ステージには、高速回転するローターブレードとステーターブレードがあります。 ポンプはコンプレッサーのように機能し、ガスを排出する代わりにエネルギーをガスに与えます。
ガス分子がポンプの入口に入ると、ローターブレードが衝突し、ブレードの機械的エネルギーがガス分子に伝達され、運動エネルギーが与えられます。
ガス分子は、この運動エネルギーを使用して、ステーターのガス移送穴に入ります。 ガス分子は再びローター表面に衝突し、次に出口に向かって外側に移動します。
ターボポンプのローターシャフトを2つのボールベアリングに取り付ける場合、ベアリングに潤滑油が含まれているため、両方のベアリングを前段の真空側に配置する必要があります。 ローターは質量が大きく、片側で支えることができます。
ローターダイナミクスの観点から、ハイブリッドベアリングサポートの使用はより有利です。 ハイブリッドベアリングでは、デュアルベアリングの概念を使用する必要があります。
フロントバキューム側のシャフトエンドにオイル潤滑ボールベアリングを取り付けます。 真空側のもう一方の端には、メンテナンスフリーで摩耗のない永久磁石ベアリングが取り付けられており、ローターを半径方向に中央に配置します。
最大1500HZの回転周波数をサポートできるブラシレスDCモーターは、ローターの駆動に最適です。 この周波数により、ブレードはガスを送り出すのに必要な速度に達することができます。
ドライバはポンプに直接接続されており、24V、48V、または72Vの直流を使用する必要があります。 外部電源またはポンプの電子ユニットと統合された電源ユニットのいずれかを使用できます。
ターボポンプは10hPa以内にクリーンな真空を生成できます。 圧縮比が高いため、オイルが入口領域に入るのを防ぎます。
ステンレス鋼のカバーを使用して、これらのポンプをR& Dアプリケーションにより適したものにすることができます。 ターボポンプは大型容器の真空引きにも使用でき、ロータリーベーンポンプはバックアップポンプとして使用できます。
ターボドラッグポンプが含まれる場合は、2段ダイアフラムポンプをバックアップポンプとして使用する必要があります。 ただし、ポンプ速度が遅いため、大きな容器を空にするのに時間がかかります。